国内技术领先的碳化硅器件中试线“解锁”新工艺，深入探索新能源飞机等新领域……疫情期间，落户于未来科学城的多家央企重点试验室、研究平台等科研人员早早复工，身影忙碌在实验室或中试线上，保证各类科研项目脚步不停。截至目前，未来科学城已有585家企业复工复产，复工率近9成；99个规模以上建设项目复工，复工率97%。
联研院科研人员开展研发工作。联研院供图
春节前，落户在未来科学城“能源谷”的国家电网全球能源互联网研究院（以下简称“联研院”）接到了一个来自香港科技大学委托的订单，希望可以利用联研院的大功率电力电子器件中试线完成“低离子注入激活率碳化硅器件退火激活工艺”的研发。“这个工艺是一种晶圆加工的特殊工艺，不是我们平时中试线定制好的‘服务菜单’，相当于是客户根据自己的需求点了个‘新菜’。”中试线相关负责人吴昊介绍。
春节期间，新冠肺炎疫情的突发让这一订单面临延后风险。在做好防疫措施的情况下，联研院的科研人员还是早早复工投入了这一新工艺的研发当中。“一方面我们不愿意耽误需求方的进度，另一方面制造芯片的中试线也不能停太久，必须尽快运转起来。”吴昊说。
联研院中试线上研发新工艺。联研院供图
早早复工后，出于疫情防控考虑，科研人员只能分批上岗。但联研院克服了时间紧、任务重和人手不足的困难，迅速组织精干力量，通过多次试验和参数调整等，完成了高温离子注入、高温退火工艺的调试和优化，按计划高质量完成了香港科技大学委托的晶圆加工特殊工艺的研发。
目前，联研院内的这条中试线是国内唯一一条稳定运行并对外开放的6英寸碳化硅器件中试线，可完成6英寸碳化硅晶圆的工艺研发和器件制备，吸引了大量亚太地区芯片龙头企业、知名高校和芯片设计公司前来开展量产前的中间型试验。自2019年3月正式启动运行以来，这条中试线除支撑联研院自主器件研发外，已累计为20多家研发机构和企业提供了特色工艺研发服务，有力促进了我国电力电子器件的发展。
联研院内早早复工运转的中试线只是未来科学城在疫情期间科研项目不停步的一个缩影。在中国商飞北研中心，针对新能源飞机、北斗导航应用、智能网联人机共驾、智慧客舱等新领域的探索都在2月初早早复工展开。此外，作为未来科学城“能源谷”重点产业项目的未来氢谷燃料电池发动机试验中心也于近期复工，项目完工后将成为全国规模顶级、测试技术领先、测试项目覆盖全面的氢燃料电池测试中心。
来源 北京日报客户端
